Pharaon, nghĩa là "ngôi nhà vĩ đại", ban đầu được dùng để chỉ cung điện của vua, nhưng dưới triều đại của Thutmose III (1479–1425 trước công nguyên), sau sự cai trị ngoại lai của Hyksos, đã trở thành cách gọi nhà vua[3] và con trai của Thần Ra. "Người ta nói rằng vị thần mặt trời Ai Cập Ra, được xem là cha của mọi pharaon, đã tạo ra chính mình từ một mô đất hình kim tự tháp trước khi sinh ra tất cả các vị thần khác." (Donald B. Redford, tiến sĩ, Penn State) [4]

Thuật ngữ pharaon xuất phát từ một từ nối pr-ꜥ3, được viết bằng hai dấu hiệu hai chữ pr "ngôi nhà" và ꜥꜣ "cây cột". Từ này chỉ được dùng trong các cụm từ lớn hơn như smr pr-ꜥꜣ 'cận thần của ngôi nhà tối cao', chỉ những tòa nhà của cung điện.[5] Từ Vương triều thứ 12 trở đi từ này xuất hiện trong một câu chúc 'ngôi nhà vĩ đại, hãy sống, thịnh vượng và mạnh khỏe', nhưng vẫn nhằm chỉ cung điện hoàng gia chứ không phải một người.

Ví dụ lâu đời nhất về việc sử dụng pr-ꜥꜣ để chỉ nhà vua là trong một bức thư gửi Amenhotep IV (Akhenaten), cai trị trong khoảng thời gian 1353–1336 trước công nguyên, cụ thể là dòng chữ 'Pharaon, hãy sống, thịnh vượng và mạnh khỏe!.[6] Trong Vương triều thứ 18 (từ thế kỉ XVI đến thế kỉ XIV trước công nguyên), tước hiệu pharaon được sử dụng để gọi nhà vua một cách kính cẩn. Tuy nhiên, khoảng cuối Vương triều thứ 21 (thế kỉ X trước công nguyên), thay vì được dùng độc lập như trước, nó bắt đầu được thêm vào những tước hiệu đứng trước tên của nhà vua, và từ Vương triều thứ 25 (từ thế kỉ VIII đến thế kỉ VII trước công nguyên), nó trở thành tiền tố duy nhất được dùng phổ thông cho hoàng gia.[7]

Từ Vương triều thứ 19 trở đi, pr-ꜥꜣ đứng độc lập cũng được dùng thường xuyên như hm.f, 'Bệ hạ'. Do đó, thuật ngữ này, từ một từ dùng để chỉ một tòa nhà, đã biến thành tên gọi kính cẩn dành cho nhà vua, nhất là ở Vương triều thứ 22 và Vương triều thứ 23.[8]

Chẳng hạn, trường hợp đầu tiên được ghi nhận về việc tước hiệu pharaon gắn liền với tên một nhà vua xảy ra vào năm 17 của Siamun trên một mảnh giấy ghi chép của các thầy tế Karnak. Ở đây, việc một cá nhân được phong làm thầy tế Amun xảy ra chính xác vào triều đại của Pharaon Siamun. Tập quán này tiếp diễn trong triều đại tiếp theo của Psusennes II cũng như các vị vua của Vương triều thứ 21. Trong khi đó việc gọi nhà vua là pr-ꜥꜣ dược tiếp tục trong các văn hóa dân gian Ai Cập.[9]

Đến lúc này, từ pr-ꜥꜣ đã được cấu trúc lại và được phát âm là *par-ʕoʔ, φαραώ pharaō trong tiếng Hy Lạp cổ đại và pharaō trong tiếng Latinh, nguồn gốc của từ tiếng Anh "Pharaoh". Theo thời gian, *par-ʕoʔ biến thành từ tiếng Copt prro và sau đó là rro.[10]

"Pharaon" trong tiếng Ả Rập hiện đại ở Ai Cập ngày nay là فرعون phát âm như Firʻawn ; trong tiếng Hebrew là פַּרְעֹה phát âm như Parʻō và trong tiếng Ge'ez là Färʻon, tất cả những tên gọi trên đều xuất phát từ per-aa trong tiếng Ai Cập cổ đại.